シリーズ
ポンプ形式
排気速度(?/min)
到達圧力(Pa)
カタログ
MDP-V
スクリュー式ドライ真空ポンプ
5500 to 22000
to 0.5
【備考】省エネ仕様
MDP
1100 to 35000
to 0.7
SLT
1100 to 3000
TRDS
to 35000
【備考】メカニカルブースター裝備式
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